我们先把MEMS传感器做一个简单的介绍： MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro-ElectroMechanicalSystem)，微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。你可以把它理解为利用传统的半导体工艺和材料，用微米技术在芯片上制造微型机械，并将其与
